产品名称：真空系统压力变送器模块产品简介：用于半导体真空腔体、管路、Load Lock 的真空度检测与信号变送单元，为设备控制系统提供稳定、精准的真空压力信号。技术规格
- 测量范围：1×10⁻⁹Torr～1000Torr
- 精度：±0.25% FS
- 输出信号：4～20mA/0～10V
- 响应时间：≤10ms
- 供电：24VDC
- 接液材质：316L 不锈钢功能特点
- 全量程测量稳定，长期无零点漂移
- 抗电磁干扰，适应复杂设备环境
- 真空密封结构，不破坏腔体真空
- 具备过压、反接、短路保护
- 模块化设计，支持热插拔更换应用场景
- 真空腔体、传输腔、Load Lock 真空监测
- 真空泵出口与管路真空控制系统
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空监测单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 