产品名称：设备主控电源分配模块产品简介：半导体设备主控系统电源分配与保护单元，为各控制板卡、驱动模块、传感器提供稳定、隔离、受保护的多路电源输出。技术规格
- 输入：220VAC/110VAC
- 输出：24VDC、12VDC、5VDC 多路
- 输出功率：≤300W
- 隔离电压：≥3kV
- 效率：≥90%
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 多路独立输出，互不干扰
- 全隔离设计，抗干扰、防漏电
- 具备过流、过压、过温、短路保护
- 低纹波、低噪声，保障控制稳定
- 体积紧凑，适合机柜内部集成应用场景
- 半导体设备主控柜电源分配
- I/O 板卡、驱动模块、传感器供电
- 刻蚀、沉积、量测设备供电系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 