产品名称：设备安全继电器模块产品简介：用于半导体设备紧急停止、腔体门联锁、真空联锁的安全控制单元，保障设备在危险状态下立即停机，保护人员与设备安全。技术规格
- 通道：4 路安全输入 / 2 路安全输出
- 触点容量：5A 250VAC
- 响应时间：≤10ms
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP40
- 安全等级：PLd/Cat.3功能特点
- 强制导向触点，故障安全型设计
- 冗余结构，单点故障不影响安全
- 触发灵敏，瞬时切断动力输出
- 状态指示灯直观，便于故障排查
- 支持多设备串联扩展应用场景
- 设备紧急停止（EMO）系统
- 腔体门、防护罩安全联锁
- 真空、高压、高温区域安全保护
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 