产品名称：高精度腔体温度传感器产品简介：用于真空腔体、加热基座、静电卡盘的高精度温度检测元件，实时采集温度数据并反馈至温控系统，保障制程温度稳定。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻
- 测温范围：-50℃～800℃
- 精度：±0.1℃
- 响应时间：≤20ms
- 护套材质：316L 不锈钢
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹Torr功能特点
- 测温精准，长期使用无漂移
- 真空密封结构，不破坏腔体真空
- 抗电磁干扰，信号传输稳定
- 耐高温、耐化学腐蚀
- 抗震抗振动，安装牢固可靠应用场景
- 腔体、加热基座、ESC 温度监测
- PVD、CVD、刻蚀设备温控系统
- 半导体高温制程温度闭环控制
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 