产品名称：真空腔体内衬屏蔽板产品简介：安装于真空腔体内壁的屏蔽保护部件，隔离等离子体直接冲刷腔体本体，减少腐蚀与颗粒污染，延长腔体使用寿命。技术规格
- 材质：高纯铝合金 / 碳化硅复合材料
- 耐温上限：600℃
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 厚度：3～10mm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹Torr
- 装配精度：±0.01mm功能特点
- 有效阻挡等离子体与腐蚀气体侵蚀腔体
- 低释气、低析出，维持腔体高洁净
- 耐高温冲击，长期使用不开裂、不变形
- 拆装便捷，降低维护成本与停机时间
- 标准化尺寸，通用性与互换性强应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 腔体内衬
- 高真空制程腔体内壁防护
- 先进逻辑与功率器件制程腔体
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 