产品名称：真空阀驱动执行器组件产品简介：半导体高真空角阀、隔膜阀专用驱动单元，为真空阀门提供快速、稳定、可靠的开关动作，适配真空与高纯气体管路系统。技术规格
- 驱动形式：气动单作用 / 双作用
- 工作气压：0.4～0.8MPa
- 开关时间：≤0.5s
- 适用口径：1/4"～1"
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 动作寿命：≥100 万次功能特点
- 动作快速平稳，无冲击、无卡滞
- 零泄漏密封，满足超高真空要求
- 耐腐蚀，兼容腐蚀性工艺气体
- 具备阀门位置反馈信号输出
- 结构紧凑，适合狭小空间安装应用场景
- 真空腔体、Load Lock 真空阀控制
- 工艺气体管路、真空管路阀门驱动
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 