产品名称：高精度多通道温度采集模块产品简介：应用于半导体制程设备的多路温度信号采集与处理模块，可同时对腔体、加热基座、气体管路等多点温度进行实时监测与数据传输，为设备温控系统提供精准数据支撑。技术规格
- 输入类型：PT100、PT1000、K 型热电偶
- 通道数量：8 路差分输入
- 测温范围：-50℃～800℃
- 测量精度：±0.1℃
- 响应时间：≤20ms
- 输出信号：RS485、Modbus、4～20mA
- 隔离电压：≥2500Vrms
- 工作电压：24VDC
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 多通道同步采集，数据实时性强
- 全隔离设计，有效抑制电磁干扰
- 内置线性化校准算法，测量精度稳定
- 具备断线检测、超温报警功能
- 支持远程参数配置与故障诊断
- 模块化结构，安装与维护便捷应用场景
- PVD、CVD、ALD 等薄膜沉积设备多点测温
- 等离子体刻蚀设备腔体与加热区温度监测
- 半导体高温制程工艺温度闭环控制系统
- 设备预防性维护与温度数据记录系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 