产品名称：真空腔体冷却水路集成模块产品简介：用于半导体真空腔体、射频组件、真空泵等发热部件的循环冷却水路集成组件，实现稳定控温、快速散热，保障设备在连续工作中温度不超标。技术规格
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 工作压力：0.3～0.8MPa
- 工作温度：5℃～60℃
- 接口规格：1/4"、3/8" VCR
- 密封形式：全氟醚橡胶密封
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s
- 流道设计：低阻力直通结构功能特点
- 流道光滑无死角，冷却效率高
- 耐腐蚀、防结垢，适应长期循环工况
- 集成化设计，减少接头与泄漏点
- 耐压性能优异，运行安全可靠
- 便于快速拆装与维护清洁应用场景
- 真空反应腔、传输腔外壁冷却
- 射频电源、匹配网络散热系统
- 真空泵、分子泵冷却循环管路
- 半导体制程设备温控散热系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 