产品名称：离子注入机高压电源控制模块产品简介：离子注入设备专用高压电源管理与控制单元，负责高压输出稳压、电流调节、束流监控与安全联锁，是离子注入工艺能量精准控制的核心部件。技术规格
- 输出类型：直流高压可调，范围 0–60kV
- 稳定精度：电压稳定度≤±0.1%，电流稳定度≤±0.05%
- 控制接口：模拟 0–10V、数字 RS485/DeviceNet 双接口
- 保护机制：过压、过流、短路、弧光、过温全保护
- 冷却方式：强制风冷 / 水冷兼容，低噪音功能特点
- 高压输出平滑无纹波，保证离子束能量均匀稳定
- 实时束流反馈调节，注入剂量精度高
- 多重安全联锁，防止高压危险与设备损坏
- 响应速度快，动态调节性能优异
- 长寿命设计，满足高负荷连续生产应用场景
- 应用材料离子注入机系列
- 晶圆掺杂、源漏注入、阱区注入等半导体掺杂工艺
- 先进逻辑芯片、功率器件、存储芯片制造产线
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 