产品名称：多通道信号端口分配模块产品简介：半导体设备控制系统专用信号接口分配单元，实现主控制器与加热器、流量计、传感器、射频模块、气动阀等子系统之间的信号汇集、分配与可靠传输。技术规格
- 通道数量：16/32 通道可配置，数字 / 模拟 / 射频信号兼容
- 信号类型：开关量、4–20mA 模拟量、脉冲量、热电偶信号
- 传输距离：最远支持 50 米稳定传输
- 绝缘耐压：输入输出间耐压≥1500VAC
- 工作电源：24VDC 工业级供电功能特点
- 信号无衰减、无失真传输，抗干扰能力强
- 模块化即插即用，安装布线简洁
- 单点故障不影响整体系统运行
- 支持在线诊断与状态监控
- 兼容多代设备控制系统，通用性强应用场景
- 沉积、蚀刻、清洗、热处理等全品类半导体设备
- 气体管路 MFC 流量控制、温度采集、压力监测、阀岛控制
- 设备 I/O 扩展、分布式信号采集与控制
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 