产品名称：气体流量监测开关产品简介：半导体设备气路系统专用流量监测与安全保护部件，实时监测工艺气体、冷却气体、吹扫气体的流量状态，当流量超出设定范围时自动触发报警与联锁保护，防止因流量异常导致工艺缺陷或设备损坏。技术规格
- 监测介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体、冷却气体
- 流量范围：50sccm～50slm，精度 ±1% F.S.
- 输出信号：SPDT 继电器开关量，无源触点输出
- 工作压力：0.1～1.0MPa，耐压 1.5MPa
- 接口规格：1/4" VCR/VCO 高纯气路接口，316L 不锈钢阀体功能特点
- 实时流量监测，响应时间≤100ms，保护及时
- 宽流量量程可调，适配多种气体工艺需求
- 高纯不锈钢阀体，耐腐蚀性强、无污染
- 自带状态指示，故障直观易排查
- 支持设备联锁，流量异常自动切断气路保障安全应用场景
- 半导体气体输送系统、特气柜、VMB 阀门箱
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入设备工艺气路
- 晶圆清洗、光刻、掺杂等制程气路保护
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 