产品名称：设备主控电源分配板产品简介：半导体设备主机柜核心电源分配与管理单元，负责将外部输入电源稳定分配至主控系统、驱动模块、传感器、阀岛等子系统，具备过流、过压、短路、反接全保护功能，保障整机供电安全稳定。技术规格
- 输入电源：交流 220VAC/380VAC，50/60Hz
- 输出通道：12 路独立直流 / 交流供电通道
- 保护类型：过流、过压、短路、过载、浪涌全保护
- 工作环境：温度 0～60℃，湿度 5%～95% 无冷凝
- 防护等级：IP20，抗电磁干扰 EMI/EMC功能特点
- 多路独立供电，单点故障不影响整机运行
- 高精度稳压输出，纹波噪声≤50mV
- 实时电流电压监测，异常自动断电保护
- 模块化设计，支持热插拔，维护便捷
- 长寿命设计，满足 24 小时连续运行应用场景
- 应用材料全系列半导体工艺设备主机柜
- 晶圆传输、真空控制、温度控制、流量控制系统供电
- 检测设备、自动化平台、机械手控制系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 