产品名称：真空穿通密封接头产品简介：真空腔体与外部执行机构的连接密封部件，实现电机、传动轴、传感器等部件在真空环境下的动力传输与信号传输，同时保证腔体真空密闭性，适用于高精度真空运动机构。技术规格
- 材质：316L 不锈钢基体 + 氟橡胶 / 金属密封
- 真空等级：1×10⁻¹⁰ Torr，超高真空适配
- 传动类型：旋转 / 直线运动兼容，间隙≤0.01mm
- 工作温度：-40℃～300℃
- 密封形式：双重密封结构，零泄漏设计功能特点
- 真空密封可靠，长期运行无泄漏、无释气
- 运动阻力小，定位精度高，无卡顿
- 耐化学腐蚀、耐等离子体、耐高温
- 安装便捷，适配多种腔体接口规格
- 使用寿命长，维护成本低应用场景
- 真空机械手、升降机构、旋转平台传动密封
- 工艺腔体、真空锁、传输腔的动力穿通
- 半导体沉积、蚀刻、离子注入设备真空传动
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 