产品名称：多通道温度采集模块产品简介：半导体设备高精度温度监测单元，实时采集腔体、加热器、气体管路、冷却回路等多点温度信号，转换为标准信号传输至主控系统，为工艺温度闭环控制提供精准数据。技术规格
- 通道数量：8/16 路热电偶 / 热电阻兼容
- 传感器类型：K/J/T 型热电偶、PT100 热电阻
- 采集精度：±0.1℃，采样频率 10 次 / 秒
- 输出信号：4-20mA/RS485 数字信号
- 工作电源：24VDC 工业级供电功能特点
- 多通道同步采集，数据实时无延迟
- 高精度、高稳定性，抗干扰能力强
- 信号隔离传输，避免现场干扰影响精度
- 自带校准功能，长期使用无需频繁校准
- 模块化设计，即插即用，扩展方便应用场景
- 工艺腔体、加热器、气体管路温度监测
- 温控系统闭环控制、温度异常报警
- 全系列半导体沉积、蚀刻、热处理设备
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 