产品简介：半导体工艺气体净化核心部件，用于去除工艺气体中的颗粒、水分、油雾等杂质，保证气体纯度达到电子级标准，避免杂质污染晶圆导致良率下降。技术规格
- 过滤精度：0.003μm，去除 99.999% 以上颗粒
- 材质：316L EP 级不锈钢，PTFE 滤芯
- 工作压力：0.1～2.0MPa，耐压 3.0MPa
- 适用气体：惰性气体、易燃气体、腐蚀性气体
- 接口：1/4" VCR 高纯气路接口功能特点
- 超高过滤精度，满足电子级气体纯度要求
- 低流阻、大通量，不影响气体输送效率
- 耐化学腐蚀，适配多种危险工艺气体
- 无释放、无污染，保障晶圆洁净度
- 更换便捷，使用寿命长应用场景
- 半导体特气系统、工艺气体输送管路
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入工艺气路
- 12 英寸晶圆厂高纯气体净化
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 