产品名称：晶圆传输机械手末端执行器产品简介：半导体晶圆传输系统专用精密执行部件，用于晶圆的抓取、搬运、定位与交接，保障晶圆传输过程无划伤、无颗粒污染、定位精准，是自动化晶圆处理的核心执行单元。技术规格
- 适用晶圆：150mm/200mm/300mm 晶圆兼容
- 抓取方式：真空吸附 + 边缘夹持双模式，吸附力可调
- 定位精度：重复定位精度≤±0.01mm，同轴度≤0.02mm
- 材质：高纯度陶瓷 + 阳极氧化铝，低污染、高刚性
- 运动速度：最大传输速度 500mm/s，平稳无冲击功能特点
- 双模式抓取，适配不同晶圆类型与工艺需求
- 高纯度材质，无金属析出、无颗粒释放，保障晶圆洁净度
- 柔性接触设计，避免晶圆边缘划伤与破损
- 高刚性结构，长期运行无变形、无松动
- 支持快速更换，维护便捷，不影响产线效率应用场景
- 半导体晶圆传输系统、真空机械手、自动化晶圆处理平台
- 工艺腔体、真空锁、检测设备之间的晶圆交接
- 8/12 英寸晶圆生产线全自动传输系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 