产品名称：气体质量流量控制器（MFC）产品简介：半导体工艺气路系统核心流量控制部件，精准控制工艺气体、载气、吹扫气体的流量，保障气体输送精度与稳定性，是薄膜沉积、蚀刻、掺杂等工艺均匀性的关键保障。技术规格
- 流量范围：1sccm–100slm，多量程可选
- 控制精度：±0.5% F.S.，重复精度 ±0.1% F.S.
- 响应时间：≤200ms，流量调节快速稳定
- 适用气体：惰性气体、腐蚀性气体、易燃气体兼容
- 阀体材质：316L EP 级不锈钢，密封材质 Viton功能特点
- 高精度流量控制，保障工艺气体配比精准
- 快速响应，适应工艺参数动态调整需求
- 耐化学腐蚀，适配多种危险工艺气体
- 低泄漏、低释气，满足超高洁净度要求
- 支持远程控制与实时流量监测，适配自动化产线应用场景
- 半导体特气系统、工艺气路、MFC 气体输送单元
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入设备工艺气体控制
- 12 英寸晶圆厂高纯气体精密输送与控制
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 