产品简介：半导体真空设备专用安全控制单元，实时监测腔体、传输腔、真空锁压力，异常时触发联锁保护，切断动力并报警，保障设备与人员安全。技术规格
- 监测范围：1×10⁻⁹Torr–1×10³Torr 全量程
- 响应时间：≤1ms，联锁动作无延迟
- 输入通道：8 路真空规信号 + 4 路开关量
- 输出：8 路安全继电器 + 2 路报警输出
- 隔离耐压：2500VAC，符合 SIL2 安全标准功能特点
- 多通道真空监测，覆盖全真空系统
- 多级压力阈值设定，分级触发保护动作
- 断电安全保持，故障状态锁定可追溯
- 实时状态反馈，故障点快速定位
- 冗余设计，单点故障不丧失保护能力应用场景
- PVD/CVD/ 蚀刻 / 离子注入设备真空安全系统
- 真空腔体、传输腔、真空锁压力联锁保护
- 半导体工厂自动化安全联锁网络
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 