产品简介：半导体晶圆传输系统专用伺服控制部件，驱动机械手完成晶圆抓取、搬运、定位，保障传输精准、平稳、无划伤。技术规格
- 驱动类型：交流伺服，功率 0.5–2kW
- 控制方式：位置 / 速度 / 力矩三环闭环控制
- 定位精度：重复定位≤±0.01mm
- 响应时间：≤5ms，运动无抖动
- 通信接口：EtherCAT/Profinet，支持远程控制功能特点
- 高动态响应，运动平稳无冲击
- 多重限位、防撞、过载保护
- 支持多轴协同控制，适配复杂传输路径
- 低噪声、低振动，保障晶圆传输安全
- 长寿命设计，24 小时连续运行无故障应用场景
- 晶圆传输机械手、真空机器人、EFEM 系统
- 工艺腔体、真空锁、检测设备间晶圆交接
- 8/12 英寸晶圆全自动生产线传输系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 