产品名称高真空密封 O 型圈组件产品简介采用高性能全氟醚橡胶（FFKM）材质，用于半导体真空腔体、法兰、阀门等部位的密封，在超高真空、高温、腐蚀环境下保持长期稳定密封性能。技术规格
- 材质：Chemraz 512/513 系列 FFKM
- 规格：内径 × 线径标准尺寸
- 硬度：80 Shore A
- 耐温：-40℃～327℃
- 真空等级：满足 UHV 超高真空标准
- 耐腐蚀：兼容各类工艺气体与清洗介质功能特点
- 超高真空密封性能，长期无泄漏
- 耐高温、耐化学腐蚀，适应性强
- 抗老化、抗压缩永久变形，寿命长
- 低释气、无颗粒释放，满足洁净要求
- 弹性好，安装便捷，密封可靠
- 标准规格，通用性强应用场景
- 真空腔体法兰密封
- 真空阀门、泵组接口密封
- 高纯气路系统密封
- 半导体设备高真空部位密封
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 