产品名称：Baratron 电容式真空压力传感器产品简介：采用电容式测量原理，用于半导体真空腔室压力精确监测，覆盖高真空至中真空范围。技术规格：
- 测量范围：1×10⁻⁵ Torr 至 100 Torr（双量程）
- 精度：±0.25% F.S.，线性度 ±0.1% F.S.
- 输出信号：0–10V DC，4–20mA 可选
- 响应时间：< 50ms
- 材质：316L 不锈钢膜片，密封 FFKM O 型圈
- 温度范围：工作 0–50°C，存储 -20–80°C功能特点：
- 抗腐蚀性：耐受腐蚀性工艺气体，膜片无化学吸附
- 稳定性：长期漂移 < 0.05% F.S./ 年
- 抗振动：10–2000Hz，10g 加速度，无影响
- 防爆认证：符合 SEMI S2、CE 标准应用场景：
- 刻蚀、沉积、离子注入腔室真空压力监测
- 分子泵、干泵出口压力控制
- 真空管路、气体柜压力监控
- 半导体厂真空系统故障诊断
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 