产品名称：8 英寸晶圆传输机器人刀片产品简介：半导体真空传输系统的末端执行器，用于洁净环境下无接触、无损伤抓取与传输晶圆，确保传输过程无颗粒、无划伤、无应力。技术规格
- 材质：高强度航空铝合金 / 陶瓷复合材料
- 适用晶圆：8 英寸 / 200mm
- 承载能力：最大 2kg
- 平面度：<0.05mm
- 表面处理：阳极氧化 + 防滑涂层
- 重复定位精度：±0.1mm功能特点
- 轻量化高刚性，运动响应快、振动小
- 表面低摩擦、无划伤、无颗粒释放
- 边缘圆弧处理，避免晶圆磕碰损伤
- 真空吸附 / 机械夹持兼容设计
- 耐真空、耐温、耐腐蚀，适配腔室环境应用场景
- 晶圆传输平台、真空机械手
- 工艺腔室晶圆进出传输
- 清洗、刻蚀、沉积设备自动化传输
- 200mm 晶圆生产线物料搬运系统
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 