产品名称：线性马达伺服驱动器产品简介：专为半导体设备高精度直线运动平台设计的伺服驱动单元，驱动线性马达实现高速、高平稳、高精度定位，满足纳米级运动控制需求。技术规格
- 输入电源：三相 200–240VAC
- 控制模式：位置 / 速度 / 力矩三环控制
- 通讯接口：EtherCAT/RS-485
- 定位精度：±0.1μm
- 响应频率：>1kHz
- 工作温度：0～50℃
- 保护：过流、过压、过载、过热、过载保护功能特点
- 无电刷、无磨损，定位精度高、寿命长
- 高速启停、无齿槽效应、运行超平稳
- 支持多轴同步控制，适配自动化平台
- 实时监控电流、速度、位置，故障自诊断
- 抗电磁干扰，适配半导体设备电磁环境应用场景
- 晶圆传输、精密定位平台
- 光刻机、检测设备精密运动控制
- 线性马达驱动的自动化工作台
- 半导体设备高精度运动控制系统
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 