产品名称：电容式真空压力传感器产品简介：采用电容式传感原理，用于半导体真空腔室压力高精度测量，覆盖中真空至高真空范围，抗腐蚀、稳定性强、长期漂移极低。技术规格
- 测量范围：1×10⁻⁵ Torr～100 Torr
- 精度：±0.25% F.S.
- 输出信号：0–10V / 4–20mA
- 响应时间：<50ms
- 接触材质：316L 不锈钢、陶瓷
- 工作温度：0～50℃功能特点
- 不受气体种类影响，测量准确稳定
- 抗腐蚀性强，耐受氟、氯基工艺气体
- 长期漂移 < 0.05% F.S./ 年，可靠性高
- 抗振动、抗冲击，适配设备运行环境
- 标准电气接口，即插即用、易集成应用场景
- 真空腔室压力实时监测
- 刻蚀、沉积、离子注入设备真空控制
- 真空机组、气体管路压力监控
- 半导体厂真空系统故障诊断
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 