产品名称：真空波纹管轴套组件产品简介：用于晶圆升降机构的真空动密封与柔性连接组件，兼顾真空密封、轴向运动、振动吸收，确保升降动作平稳且真空不泄漏。技术规格
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 结构：多层波纹管 + 轴套一体化
- 伸缩量：±25mm
- 检漏率：<1×10⁻⁹ atm・cc/s
- 工作温度：-196℃～250℃
- 适配：晶圆升降针 / 顶针机构功能特点
- 超高真空密封，动密封无泄漏
- 柔性补偿，吸收安装偏差与机械振动
- 摩擦小、运动顺滑，无卡滞、无颗粒
- 耐腐蚀性强，适配工艺气体环境
- 寿命长，可承受万次以上循环运动应用场景
- 晶圆升降机构、顶针组件
- 真空腔室内部运动部件动密封
- 刻蚀、沉积、CMP 设备真空传动
- 超高真空系统柔性传动密封
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 