产品名称：工艺腔室屏蔽罩产品简介：安装于腔室内部的射频 / 等离子体屏蔽部件，用于屏蔽杂散电磁场、稳定等离子体分布、减少异常放电，保护传感器与精密组件。技术规格
- 材质：高纯铝合金 / 不锈钢
- 表面处理：导电氧化 / 抛光
- 屏蔽效能：>40dB@13.56MHz
- 耐温：-20℃～350℃
- 结构：模块化拼接设计
- 安装：快速定位卡扣结构功能特点
- 有效抑制射频干扰，稳定等离子体状态
- 减少电弧与异常放电，保护腔室与晶圆
- 模块化设计，拆装维护便捷
- 低释气、高洁净，无污染物释放
- 耐等离子体冲刷，使用寿命长应用场景
- 射频等离子体刻蚀、沉积设备
- 13.56MHz 射频工艺腔室
- 敏感传感器、电路板电磁防护
- 半导体设备射频干扰抑制
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 