产品名称：电容式真空压力传感器产品简介：采用电容式传感原理，用于半导体真空系统压力高精度测量，覆盖中真空至高真空范围，具备高稳定性、抗腐蚀、低漂移特性，适配各类半导体工艺腔室压力监控需求。技术规格
- 测量范围：1×10⁻⁵ Torr ～ 100 Torr（双量程）
- 测量精度：±0.25% F.S.（满量程）
- 线性度：±0.1% F.S.
- 输出信号：0–10V DC / 4–20mA 可选
- 响应时间：< 50ms
- 接触材质：316L 不锈钢膜片、FFKM 密封
- 工作温度：0–50℃
- 存储温度：-20–80℃功能特点
- 不受气体种类影响，测量结果稳定可靠
- 抗腐蚀性强，耐受氟、氯基等工艺气体侵蚀
- 长期漂移极低，< 0.05% F.S./ 年，可靠性高
- 抗振动、抗冲击，适配设备运行环境
- 标准电气接口，即插即用，易于系统集成应用场景
- 刻蚀、沉积、离子注入腔室真空压力实时监测
- 真空机组、气体管路压力监控与控制
- 半导体厂真空系统故障诊断与预防性维护
- 超高真空系统压力闭环控制
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 