产品简介：这是 AMAT（Applied Materials）与安川（Yaskawa）合作，为 AMAT 晶圆加工平台（Centura、Endura 等）精密运动控制定制专用的交流伺服驱动器，负责晶圆传送机器人、真空腔门、升降轴、对准台等高精度运动轴的控制。
技术规格：
- 品牌：AMAT（Applied Materials）/ Yaskawa（安川）
- 驱动器型号：SGDV-OCA05AY890AA
- 兼容电机：安川 SGMPS 系列（如 SGMPS-01ACA-YA13）
- 输入：AC 200-240V，单相/三相，50/60 Hz
- 输出：额定 0.5 kW，峰值 1.5 kW
- 控制模式：位置 / 速度 / 转矩
- 反馈：增量式编码器 23 bit
- 通讯：MECHATROLINK-II（AMAT 设备总线）
- 保护功能：过流、过压、过热、过载、编码器故障
- 工作温度：0°C ~ +50°C（工业级）
- 尺寸/重量：约 180 × 150 × 40 mm / 1.2 kg
功能特点：
- 高分辨率 23 bit 编码器反馈，实现高精度定位
- 支持位置、速度、转矩三环控制
- 通过 MECHATROLINK-II 总线与 AMAT 主机无缝集成
- 完善的故障保护机制，适合洁净室 24/7 运行
应用场景：AMAT Centura/Endura 平台的晶圆搬运机器人、真空腔门、升降轴、对准台；PVD/CVD/Etch/Clean 等机台的高精度运动控制
安装要求：洁净室环境，低尘、低噪、高稳定性设计
Amat 0100-09123 
Amat 0090-07135 
Amat 0040-96157 
Amat 0010-23716 