产品名称：真空传感器 / 真空计控制器（Hot Ion / Pirani 组合式）
产品简介：AMAT 真空与过程控制系统的关键组件，用于测量和监控粗真空到超高真空（UHV）环境的压力，确保刻蚀、PVD、CVD、ALD 及 Load-Lock 等工艺的稳定性，防止交叉污染并实现精确压力控制。
技术规格：
- 制造商：Applied Materials（AMAT），OEM 来自 MKS、Inficon 等品牌
- 测量范围：大气压力 ~ 1×10⁻¹¹ Torr（750 Torr Hot Ion/Pirani 组合式）
- 本体材质：316L 不锈钢，电解抛光
- 输出：模拟 / 数字输出可选
- 响应时间：≤ 100 ms
- 双灯丝设计：提升可靠性
- 适用平台：AMAT Centura、Endura、Producer、ExAL（200mm / 300mm Fabs）
- 先进节点：7nm ~ 3nm 制程、3D NAND、GAA 器件
功能特点：
- 从粗真空到超高真空的全量程精确测量
- 为控制系统提供实时压力反馈，维持特定工艺步骤所需的真空度
- 双灯丝冗余设计，提升长期可靠性
应用场景：
- 半导体刻蚀（介质刻蚀、导体刻蚀、硅刻蚀）腔室压力监控
- PVD/CVD/ALD 沉积设备的工艺气体管路与腔室真空控制
- 传送腔、Load-Lock、泵管线的压力测量
Amat 0100-09123 
Amat 0090-07135 
Amat 0040-96157 
Amat 0010-23716 