产品型号：0100-71271

制造商：Applied Materials (AMAT)

总线类型：VMEbus

通道类型：数字量输入与输出

工作电压：5V DC 与 24V DC

工作温度：0°C 至 55°C

存储温度：-20°C 至 70°C

尺寸：标准 6U VME 模块

支持多通道数字信号并行处理

具备光电隔离保护，防止电气噪声干扰

模块化设计，支持在线维护

高可靠性，适用于洁净室环境

应用于 AMAT Centura 及 Endura 系列半导体沉积设备

用于真空腔室压力联锁控制

用于晶圆传输机械手的动作信号反馈

电路板基材：高 TG 值 FR-4 环氧玻璃布层压板

外壳：铝合金屏蔽罩

接插件：镀金引脚，磷青铜材质

采用 6U 高度标准 VME 板卡结构

前置面板配备状态指示灯及调试接口

背面为 VME 总线金手指连接器

模块通过 VMEbus 背板与主控计算机通信，接收控制指令后，由内部逻辑芯片进行解码，驱动输出通道的继电器或晶体管，同时将输入通道的传感器状态通过总线实时反馈给主控系统。

安装前需切断设备主电源并释放静电

操作人员需佩戴防静电腕带

将模块沿导轨垂直插入对应槽位，确保总线连接器完全啮合

使用面板螺丝固定，防止振动松脱

禁止在带电状态下插拔模块

定期清洁接插件，防止氧化导致接触不良

环境湿度需控制在 10% 至 90% 非凝结状态

故障模块需返回原厂或授权维修中心进行检修，禁止私自拆卸