产品名称：半导体设备工艺腔体定制化密封压环产品简介：这是应用材料公司（AMAT）推出的原厂定制化工艺腔体配件，属于半导体真空设备的核心密封结构件，专为特定型号工艺腔体的腔门与腔体主体连接部位设计，核心实现超高真空密封与结构紧固的双重作用，保障工艺腔体在等离子体工艺过程中的真空密封性和结构稳定性，是定制化腔体机型的专属配套备件。技术规格：
- 主体材质：高强度 316L 不锈钢（真空级）
- 密封槽规格：宽 4.0mm，深 2.5mm，适配 O 型氟橡胶密封件
- 外径尺寸：185mm
- 内径尺寸：150mm
- 厚度尺寸：12mm
- 尺寸公差：±0.02mm
- 表面处理：真空级电解抛光，表面粗糙度 Ra≤0.2μm
- 适配真空度：≤1×10⁻¹⁰ mbar
- 工作温度：-50℃至 350℃
- 抗等离子体腐蚀：耐受氟基、氯基等离子体长期溅射功能特点：
- 采用真空级 316L 不锈钢锻造加工，整体结构强度高，无砂眼、气孔等缺陷，满足超高真空工艺要求
- 表面经高精度电解抛光处理，低放气率、抗腐蚀，有效减少等离子体在表面的沉积与吸附
- 密封槽精密加工，与配套密封件无缝贴合，实现超高真空密封，无泄漏风险
- 定制化尺寸设计，与对应型号工艺腔体腔门精准匹配，安装定位精准，紧固后无结构偏移
- 可耐受高低温交变环境和各类等离子体腐蚀，在长期连续生产中无变形、无开裂，使用寿命长应用场景：
- 适配应用材料定制化款刻蚀、沉积工艺腔体，为腔门与腔体主体的连接部位提供密封与紧固
- 应用于半导体先进制程晶圆制造的超高真空等离子体刻蚀、原子层沉积等工艺环节
- 可作为半导体定制化真空设备腔体的原厂备件，用于设备日常维护、配件更换与腔体结构修复
AMAT 0050-33303 
AMAT 0020-43681 
AMAT 0020-40222 
AMAT 0020-34112 