产品名称：半导体设备真空腔体气路连接接头产品简介：这是应用材料公司（AMAT）推出的原厂标准真空气路配件，属于半导体设备真空气路系统的核心连接部件，专为超高真空气路管路的对接设计，实现气路的密封连接与介质传输，保障气路系统的真空密封性和介质传输的稳定性，适配 AMAT 多款真空设备的气路系统，是半导体制造设备气路维护的常用标准备件。技术规格：
- 主体材质：316L 不锈钢（真空级）
- 连接类型：VCR 面密封接头，直通式结构
- 通径规格：1/4 英寸
- 尺寸公差：±0.015mm
- 表面处理：真空级抛光，表面粗糙度 Ra≤0.3μm
- 适配真空度：≤1×10⁻⁹ mbar
- 工作温度：-70℃至 400℃
- 工作压力：真空至 1.6MPa
- 密封方式：金属面密封，无垫片设计
- 抗腐蚀性能：耐受各类工艺气体（惰性气体、工艺反应气体）腐蚀
- 适配介质：惰性气体、氟基 / 氯基工艺气体、清洗气体等功能特点：
- 采用 VCR 面密封结构，无垫片设计，金属面直接贴合密封，密封性能优异，可实现超高真空密封，无泄漏
- 真空级 316L 不锈钢材质，抗腐蚀、低放气率，满足半导体超高真空气路的使用要求
- 直通式结构设计，介质传输阻力小，无流道死角，减少工艺气体的沉积与残留
- 精密加工尺寸，连接部位定位精准，安装便捷，可反复拆卸与装配，密封性能不衰减
- 表面抛光处理，减少气体吸附，保障气路系统内介质的纯度，避免对工艺造成污染应用场景：
- 适配应用材料 Centura、Endura 系列刻蚀、沉积设备的真空气路系统
- 应用于半导体晶圆制造的真空工艺气路、清洗气路、保护气路的管路连接
- 可作为半导体真空设备气路系统的标准连接备件，用于设备气路安装、改造与日常维护更换
- 适用于 8 英寸、12 英寸晶圆制造生产线的等离子体刻蚀机、PVD、CVD 等设备的气路系统
AMAT 0050-33303 
AMAT 0020-43681 
AMAT 0020-40222 
AMAT 0020-34112 