• 产品名称：半导体设备气动阀组组件
• 产品简介：这是应用材料专为半导体工艺气体输送系统设计的集成式气动阀组，包含多个气动控制阀、过滤器、压力传感器等部件，用于实现工艺气体的通断控制、压力调节和净化，适配多种半导体工艺设备的气体管路系统，是保障工艺气体输送精准、安全的核心部件。
• 技术规格：
  • 适配气体类型包括 SiH4、NH3、O2、Ar、CF4 等半导体常用工艺气体，兼容腐蚀性和惰性气体。
  • 工作压力范围 0-10bar，满足不同工艺气体的输送压力需求。
  • 阀门响应时间小于 50ms，可快速实现气体通断控制，适配工艺参数快速切换。
  • 阀体材质为 316L 不锈钢，密封材质为 PTFE，耐腐蚀性强，无气体泄漏。
  • 过滤精度 0.01μm，可有效去除气体中的微小颗粒杂质。
  • 接口规格为 1/4 英寸 VCR，适配半导体行业标准气体接口。
• 功能特点：
  • 集成化设计，减少管路连接点，降低气体泄漏风险，同时节省设备安装空间。
  • 支持气动远程控制，适配半导体设备的自动化控制系统，可实现多阀门协同动作。
  • 压力传感器实时监测管路压力，当压力异常时自动关闭阀门，保障工艺安全。
  • 模块化结构，各部件可单独更换，维护便捷，降低维护成本。
  • 阀门具备自清洁功能，减少工艺气体残留，避免不同气体交叉污染。
• 应用场景：应用于半导体沉积、刻蚀、扩散等工艺设备的气体输送管路，如 CVD 设备的工艺气体进气系统、刻蚀设备的反应气体供给系统等，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障工艺气体流量和压力稳定，提升半导体器件制造良率。