产品名称：半导体设备冷却系统流量传感器

产品简介：该产品是应用材料半导体设备冷却系统的核心检测部件，专为半导体工艺设备的冷却介质流量监测设计，采用高精度科里奥利式流量检测原理，可实现对冷却介质的实时、精准、无接触流量监测，同时具备流量异常报警功能，适配 AMAT 多款刻蚀、沉积、光刻设备的冷却系统，是保障设备冷却介质流量稳定、避免设备因过热故障的关键检测部件。

技术规格：

检测介质：半导体级去离子水 / 乙二醇水溶液

流量检测范围：0-50L/min

流量检测精度：±0.2% FS

工作压力：0-1.0MPa

工作温度：0-80℃

输出信号：4-20mA 模拟量 / RS485 数字量

响应时间：＜0.5s

主体材质：316L 不锈钢

防护等级：IP67

安装方式：法兰式安装（DN20）

适配冷却系统：AMAT 原厂设备闭式冷却系统

功能特点：采用科里奥利式流量检测原理，无接触检测，无磨损、无压损，检测精度高且使用寿命长；同时支持 4-20mA 模拟量和 RS485 数字量信号输出，可直接与设备 PLC 控制系统对接，实现流量数据的实时采集和远程监控；具备流量上下限异常报警功能，当流量超出设定范围时可即时发出报警信号，保障冷却系统安全运行；检测范围宽，可适配不同功率设备的冷却介质流量检测需求，量程比 1:100；主体采用 316L 不锈钢材质，抗腐蚀、抗结垢，适配半导体级冷却介质的使用环境；防护等级 IP67，可适应设备现场的潮湿、多尘环境，安装后稳定性高；支持在线校准，无需拆卸即可完成传感器的精度校准，维护便捷。

应用场景：广泛应用于 AMAT 各类高功率半导体工艺设备的冷却系统，包括光刻设备、刻蚀设备、物理气相沉积设备、化学气相沉积设备、离子注入设备等，适配 Logic、DRAM、NAND 晶圆制造的所有工艺环节，用于监测冷却系统中去离子水、乙二醇水溶液等冷却介质的实时流量，是设备冷却系统的核心检测与安全保护配套部件。