产品名称：半导体设备真空电磁阀

产品简介：该产品是应用材料半导体设备真空系统的核心控制部件，专为超高真空环境的气体通路控制设计，采用先导式启闭结构和高密封性能的阀座设计，可实现真空通路的快速、精准、无泄漏启闭，适配 AMAT 多款刻蚀、沉积、清洗设备的真空系统，是保障真空系统通路控制精度和真空度稳定性的关键气动控制部件。

技术规格：

阀门通径：6mm

阀门类型：常闭型真空电磁阀

工作真空度：10^-10 Torr 至常压

工作介质：干燥氮气 / 惰性气体 / 工艺尾气

工作电压：24VDC

额定工作电流：1.2A

启闭响应时间：＜10ms

密封材质：氟橡胶（Viton）

主体材质：316L 不锈钢

安装方式：卡套式连接（Φ6mm 管路）

耐温范围：-20℃至 180℃

功能特点：采用先导式启闭结构，启闭响应速度快，＜10ms 的响应时间可实现真空通路的快速切换，适配半导体工艺的高速化需求；氟橡胶阀座设计，密封性能优异，在 10^-10 Torr 超高真空环境下无气体泄漏，保障真空系统的真空度稳定性；常闭型结构设计，断电状态下阀门自动关闭，具备故障安全保护功能，避免因断电导致真空系统失效；主体采用 316L 不锈钢材质，抗腐蚀、抗结垢，适配半导体工艺中的各类气体介质，使用寿命长；卡套式连接方式，安装与拆卸便捷，无需焊接，可快速完成真空管路的连接与维护；24VDC 低压供电，适配半导体设备的电气控制系统，运行稳定，无电磁干扰。

功能特点：采用先导式启闭结构，启闭响应速度快，＜10ms 的响应时间可实现真空通路的快速切换，适配半导体工艺的高速化需求；氟橡胶阀座设计，密封性能优异，在 10^-10 Torr 超高真空环境下无气体泄漏，保障真空系统的真空度稳定性；常闭型结构设计，断电状态下阀门自动关闭，具备故障安全保护功能，避免因断电导致真空系统失效；主体采用 316L 不锈钢材质，抗腐蚀、抗结垢，适配半导体工艺中的各类气体介质，使用寿命长；卡套式连接方式，安装与拆卸便捷，无需焊接，可快速完成真空管路的连接与维护；24VDC 低压供电，适配半导体设备的电气控制系统，运行稳定，无电磁干扰。

应用场景：广泛应用于 AMAT 各类半导体设备的真空系统，包括刻蚀设备、沉积设备、清洗设备、离子注入设备等，适配 Logic、DRAM、NAND 晶圆制造的刻蚀、沉积、清洗、离子注入等工艺环节，用于真空系统中干燥氮气、惰性气体、工艺尾气等介质的通路控制，是真空系统的核心气动控制配套部件。