产品名称：真空腔室压力传感器模块产品简介：用于半导体真空系统的高精度压力监测部件，实时采集腔室真空度数据，为工艺控制提供精准压力反馈，保障真空环境稳定性。技术规格
- 测量范围：覆盖高真空至中真空区间
- 测量精度：全量程高精度测量，误差极小
- 输出信号：标准模拟 / 数字信号输出，适配设备控制系统
- 接口类型：KF 标准真空接口，密封可靠
- 工作环境：适配腐蚀性工艺气体与高温环境功能特点
- 测量响应速度快，数据采集实时稳定
- 抗干扰能力强，信号输出无漂移
- 密封性能优异，无真空泄漏风险
- 具备自诊断功能，异常状态自动报警
- 长期稳定性好，校准周期长应用场景
- 半导体工艺腔室真空度实时监测
- 真空排气系统压力控制
- 沉积、刻蚀、离子注入设备真空监控
- 晶圆厂真空管路系统压力检测
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 