产品名称：真空系统气动控制模块产品简介：半导体真空设备专用的气动控制核心单元，集成气动回路、电磁阀组与压力调节功能，用于精准控制真空阀门、气缸等执行机构，保障真空系统通断与动作的稳定性与可靠性。技术规格
- 控制通道：多路独立气动控制通道，适配多阀门协同控制
- 压力范围：输入气压 0.4–0.7MPa，输出压力连续可调
- 响应时间：电磁阀动作响应≤10ms，控制精准
- 接口类型：标准快插气动接口，兼容 Φ6/Φ8 气管
- 防护等级：IP65，适配高洁净、多粉尘工业环境功能特点
- 集成度高，简化真空系统气动回路布线
- 压力调节精准，输出稳定无波动
- 内置过压、失压保护，保障气动系统安全
- 抗电磁干扰能力强，适配复杂工业电磁环境
- 模块化设计，故障点清晰，维护便捷应用场景
- 半导体工艺腔室真空阀门气动控制
- 真空传输系统气缸动作控制
- 沉积、刻蚀、清洗设备真空气动系统
- 晶圆厂真空设备气动回路升级与维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 