产品名称：高精度电容式真空压力传感器产品简介：用于半导体真空腔体与气路系统的超高精度压力检测部件，采用电容式传感原理，提供稳定可靠的真空度测量，保障制程压力控制精度。技术规格
- 测量范围：0.001 Torr～1000 Torr
- 精度：±0.25% FS
- 响应时间：≤10 ms
- 输出信号：4～20 mA / 0～10 V
- 接液材质：316L 不锈钢
- 工作温度：-40℃～85℃
- 防护等级：IP67功能特点
- 长期稳定性优异，无零点漂移
- 抗电磁干扰能力强
- 耐腐蚀，适配各类工艺气体
- 快速响应，实时压力反馈
- 支持原厂校准与远程监控应用场景
- PVD、CVD、Etch 设备腔体真空监测
- 高纯气体管路压力控制
- 半导体前道制程真空系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 